特許
J-GLOBAL ID：200903032995738184
ウレタンアクリレートから作成される水性系フォトレジスト
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 秀和 (外1名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-543098
公開番号（公開出願番号）：特表2001-521639
出願日： 1998年04月09日
公開日（公表日）： 2001年11月06日
要約：
【要約】水性系(waterborne)の光画像形成性組成物もしくはフォトレジストは、アルカリ性水溶液にて現像しうるのに充分なカルボン酸官能価を有する光重合性ウレタンアクリレートオリゴマーと光開始剤化学系との水性系分散物、および水性の被覆可能かつアルカリ現像可能なフォトレジスト組成物を生成する他の成分に基づくラテックス結合剤ポリマーからなっている。
請求項（抜粋）：
光画像形成性フォトレジストを形成するに際し:水性系の光画像形成性組成物で基板を被覆してフィルムを形成させ;前記光画像形成性組成物は陰イオン型および非イオン型の両成分を有する約30〜約98重量%の脂肪族ウレタンアクリレートオリゴマーの水性系分散物(前記陰イオン型成分はカルボン酸からなる)と;光に露出した際に遊離基を発生する有効量の光開始剤と;中和用塩基とからなり;光画像形成性組成物を乾燥させて非粘着表面を形成させることを特徴とする光画像形成性フォトレジストの形成方法。
IPC (4件)：
G03F 7/027 513
, C08G 18/62
, C08L 75/04
, H05K 3/28
G03F 7/027 513
, C08G 18/62
, C08L 75/04
, H05K 3/28 D
