特許

J-GLOBAL ID：200903033009911465

ハーフミラー用複合酸化物薄膜

発明者： 西田 英治 ,  高坂 直美智
出願人/特許権者： 日本曹達株式会社
代理人 (1件)： 横山 吉美 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-086157
公開番号（公開出願番号）：特開平5-116988
出願日： 1992年03月10日
公開日（公表日）： 1993年05月14日
要約：

【要約】【目的】耐久性(耐アルカリ性、耐酸性、耐磨耗性、耐汚れ性)の優れた、ハーフミラー用複合酸化物薄膜を提供する。【構成】Si: 5〜50原子%、Ti: 5〜80原子%、Nb: 5〜80原子%からなる複合酸化物薄膜であり、P2O5を含有していてもよい。【効果】Nbを、Si/Ti系にさらに複合させた複合酸化物薄膜は、耐久性が著しく改善される。

請求項（抜粋）：

下記(a), (b)および(c) からなる金属原子組成の複合酸化物薄膜からなることを特徴とするハーフミラー用複合酸化物薄膜(a) Si: 5〜50原子%(b) Ti: 5〜80原子%(c) Nb: 5〜80原子%

IPC (7件)：

C03C 17/22 ,  C01B 33/12 ,  C03C 3/062 ,  C03C 3/097 ,  C03C 17/25 ,  G02B 1/10 ,  G02B 5/08

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-117686
  
• 特開平4-026979