特許

J-GLOBAL ID：200903033019927602

露光装置の性能測定方法及び装置

発明者： 小貫 勝則 ,  高橋 仁 ,  白木原 学
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-345792
公開番号（公開出願番号）：特開平5-182883
出願日： 1991年12月27日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】投影露光装置の投影光学系の像歪及び結像倍率測定を高精度に行なうことができ、かつ本測定結果による投影露光装置の投影光学系に関する自己診断機能の高精度化を図ることを目的とする。【構成】駆動系17を有する光開口設定機構15を設けることにより、被測定対象のマスク2上に配置したスリットパターン3以外からの透過光を遮光し、投影光学系に投影される投影像の投影位置を受光器と測長系による計測位置及び透過光量値からデータ処理系により算出する。

請求項（抜粋）：

被投影物体にて基準信号を発生させ、これを露光物体と相当位置に結像すると共にこの基準信号の像位置を測定し、被投影物体における位置の測定値との比較をすることにより投影光学系の特性を検出することを特徴とする露光装置の性能測定方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 1/08

FI (3件)：

H01L 21/30 301 G ,  H01L 21/30 311 L ,  H01L 21/30 311 N