特許
J-GLOBAL ID:200903033021005569

超音波検査装置評価用標準試料の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 永井 冬紀
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-017235
公開番号(公開出願番号):特開平8-211032
出願日: 1995年02月03日
公開日(公表日): 1996年08月20日
要約:
【要約】【目的】 超音波検査装置の焦点深度等を精度よく測定できるようにする。【構成】 同一深さに複数の人工欠陥3を有する平板4を複数製作する。その際、各平板4の人工欠陥3の深さ位置が異なるようにする。次に、各平板4を格子状に切断して欠陥単位5ごとに分割し、各欠陥単位5に少なくとも一つの人工欠陥3が含まれるようにする。そして、各平板4の欠陥単位5を一つずつ選択して支持基板6の上に並べて密着接合させた後、その上面に支持基板7を接着して支持基板6を除去することによって標準試料を製作する。これにより、標準試料内の異なる深さ位置に形成される人工欠陥をいずれも標準試料表面に平行にすることができる。したがって、人工欠陥に照射された超音波が斜めに反射されなくなり、超音波探触子の焦点深度を精度よく測定できる。
請求項(抜粋):
複数の人工欠陥が形成された第1の面をそれぞれ有する第1の板群と、前記第1の板群のそれぞれに対応して設けられ、前記第1の面に接合される第2の面をそれぞれ有する第2の板群とを組み合わせて製作される超音波検査装置評価用標準試料の製造方法であって、前記第1の板群の前記第1の面と、対応する前記第2の板群の前記第2の面とを接合面に界面が生じないようにそれぞれ接合して第3の板群を製作する工程と、前記第3の板群に属する各板を、内部に前記人工欠陥が少なくとも一つ含まれるように複数の欠陥単位にそれぞれ分割する工程と、分割された前記第3の板群に属する各板ごとに一部の前記欠陥単位を選択し、選択された前記欠陥単位を密着接合する工程と、密着接合させた前記欠陥単位の少なくとも一面を平坦にする工程とを備えることを特徴とする超音波検査装置評価用標準試料の製造方法。
IPC (3件):
G01N 29/22 507 ,  G01N 1/00 102 ,  G01N 29/10

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