特許
J-GLOBAL ID：200903033027523057
光導波路およびその製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松本 孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-039927
公開番号（公開出願番号）：特開平5-241035
出願日： 1992年02月27日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】コアとクラッドの屈折率差が大きく、反りの小さい低損失な光導波路を安価に製造する。【構成】Si基板1上にクラッド3に覆われ、プラズマCVD法によって作成されたSiONHの凸状コア2を持つ。このコア2にはP、Geなどの屈折率制御用添加物が10モル%以下の僅かな量で含まれている。コアの屈折率自身は主成分であるSiONHによって支配的に決まり、P、Geなどの屈折率制御用添加物は、クラッド、基板との熱膨張係数、あるいは軟化温度等の物理的特性の調節用として、またHの含有量の低減用として作用する。これにより、コアの屈折率が大きくとれ、しかもクラッド、基板との熱膨張係数の整合を行わせることができる。
請求項（抜粋）：
屈折率がnw の凸状のコアの外周を屈折率ncp(ncpw )のクラッドで覆った光導波路において、上記コアの材質にP、あるいはGeなどの屈折率制御用添加物を含有したSiOx Ny Hz (x,y>0,z≧0の実数)を用いたことを特徴とする光導波路。
IPC (2件)：
引用特許：
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