特許
J-GLOBAL ID:200903033029598046
磁気センサ
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
小鍜治 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-156481
公開番号(公開出願番号):特開平5-007030
出願日: 1991年06月27日
公開日(公表日): 1993年01月14日
要約:
【要約】【目的】 磁気抵抗効果を有する強磁性体からなる磁気センサにおいて、エアーシリンダーのピストンヘッド位置検出用に用いた場合、従来の磁気センサではピストンヘッド位置の検出範囲が狭いという課題を有した。【構成】 磁気抵抗効果を有する強磁性体からなり、直列に接続されている感知側,補償側パターンエレメント1,2が互いに直交に配置され、この接続点に設けられている出力端子5と、前記両パターンエレメントの他端側にそれぞれ設けられている電流供給端子とからなり、前記補償側パターンエレメント1を透磁率の高い材料で囲む磁束バイパスパターン6、または前記補償側エレメントパターンの上部あるいは下部に絶縁膜を介して透磁率の高い材料で磁束バイパス層7を形成するものである。
請求項(抜粋):
磁気抵抗効果を有する強磁性体からなりジグザグ形状の補償側エレメントパターンと感知側エレメントパターンとを互いに直交するように直列に接続し、その接続点に出力端子を設けるとともに、両エレメントパターンの他端側にそれぞれ電流供給端子を設け、前記補償側エレメントパターンを囲むように透磁率の高い材料で磁束バイパスパターンを形成してなる磁気センサ。
IPC (5件):
H01L 43/08
, F15B 15/28
, G01D 5/245
, G01R 33/06
, G01B 7/00
引用特許:
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