特許
J-GLOBAL ID：200903033033744529
カラーフィルターの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-120346
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308312
出願日： 1993年04月26日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 赤、緑、青の各色間の段差を無くした均一な膜面のカラーフィルターの製造方法を提供する。【構成】 ガラス基板1上にブラックマトリクスパターン2を形成した後、これをマスクとしてガラスのエッチングを行なった後、感光性着色樹脂材料3を塗布し、これをパターニングしてカラーフィルターパターンを形成した後、形成されたカラーフィルターパタ-ン面を研磨して該カラーフィルター及びブラックマトリクスの高さを均一にするカラーフィルターの製造方法において、研磨テープのカラーフィルター基板への接地面積がカラーフィルターの画素ピッチ以上であり、研磨面画素ピッチ以上でカラーフィルター間の段差以下の直線性を有し、かつ剛性を有する研磨テープを用い、かつUV光とオゾンを供給してエッチングを行なうカラーフィルターの製造方法である。
請求項（抜粋）：
感光性樹脂中に着色材料を分散させた感光性着色樹脂を用いて、フォトリソ工程によりパターニングしてカラーフィルターを形成する方法において、ガラス基板上にブラックマトリクスパターンを形成した後、該パターンをマスクとしてガラスのエッチングを行なった後、感光性着色樹脂材料を塗布し、これをパターニングしてカラーフィルターパターンを形成した後、形成されたカラーフィルターパタ-ン面を研磨して該カラーフィルター及びブラックマトリクスの高さを均一にすることを特徴とするカラーフィルターの製造方法。
引用特許：
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