特許
J-GLOBAL ID:200903033035335138

有機化合物単結晶薄膜製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 野河 信太郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-345112
公開番号(公開出願番号):特開平5-170600
出願日: 1991年12月26日
公開日(公表日): 1993年07月09日
要約:
【要約】【構成】 基板(1)上に形成された有機化合物薄膜(2a)が他の材料で被覆され(3)、前記有機化合物薄膜を熔融再結晶化して単結晶薄膜(2c)を得ることを特徴とする有機化合物単結晶薄膜作製方法。【効果】 異種材料での被覆により、有機化合物の昇華による飛散を防止し、かつ流出などによる薄膜領域の変化を抑えることができる。
請求項(抜粋):
基板上に形成された有機化合物薄膜が他の材料で被覆され、前記有機化合物薄膜を熔融再結晶して単結晶薄膜を得ることを特徴とする有機化合物単結晶薄膜作製方法。

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