特許

J-GLOBAL ID：200903033036886766

窓付研磨パッド

発明者： 小池 尚生 ,  池田 章彦
出願人/特許権者： 旭化成株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-281153
公開番号（公開出願番号）：特開2001-105299
出願日： 1999年10月01日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】 本発明は、光学的に研磨の終点検知が可能で、かつ、研磨の均一性が良好な研磨パッド、それを用いた研磨の終点検知方法、およびそれを備えた研磨装置を提供する。【解決手段】 ケミカルメカニカル研磨装置に用いられる研磨パッドにおいて、該研磨パッドの研磨層が気泡を有する研磨領域と気泡を有する光透過領域を有し、かつ、研磨領域の気孔率(A1)と光透過領域の気孔率(A2)の関係が、A1>A2>0とする。

請求項（抜粋）：

ケミカルメカニカル研磨装置に用いられる研磨パッドにおいて、該研磨パッドの研磨層が気泡を有する研磨領域と気泡を有する光透過領域を有し、かつ、研磨領域の気孔率(A1)と光透過領域の気孔率(A2)の関係が、A1>A2>0である事を特徴とする研磨パッド。

IPC (4件)：

B24B 37/00 ,  B24B 37/04 ,  H01L 21/304 622 ,  H01L 21/304

FI (4件)：

B24B 37/00 C ,  B24B 37/04 K ,  H01L 21/304 622 F ,  H01L 21/304 622 S

Fターム (4件)：

3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CB01 ,  3C058DA12