特許
J-GLOBAL ID：200903033036903105
誘導結合プラズマ質量分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-028683
公開番号（公開出願番号）：特開平7-240169
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：
【要約】【目的】 コーンの基材に含まれる元素であっても測定対象として正確に測定できる誘導結合プラズマ質量分析装置を提供する。【構成】 プラズマトーチ1で発生されたプラズマフレーム2中で生成された試料イオンは、サンプリングコーン3を介して第1排気室4へ導入され、更にスキマーコーン5を介して第2排気室6へ導入される。更に第2排気室6内に配置された引き出しレンズ7を通過して収束された試料イオンは、通路8を介して磁場型質量分析装置9へ導入される。2つのコーンは共に例えば銅で作成され、そのイオン導入孔部分及びコーン裏面の孔の周囲の部分の表面を覆うように、例えばプラチナ製の薄い円錐体カバー21,22が裏面からコーンに取り付けられる。引き出しレンズ7のスキマーコーンのイオン導入孔に対向する面のイオン通過孔の周囲の部分にも、プラチナ製の薄板23が表面に取り付けられている。
請求項（抜粋）：
試料をイオン化する誘導結合プラズマイオン源と、該イオン源で生成されたイオンを第一の低圧室へ導入するためのサンプリングコーンと、該サンプリングコーンを通過したイオンを第一の低圧室内から更に低圧の第二の低圧室へ導入するためのスキマーコーンと、第二の低圧室内に配置され、導入されたイオンを引き出し収束させるための引き出しレンズを備え、引き出しレンズで収束されたイオンを磁場を備えた質量分析装置に導入して質量分析するようにした誘導結合プラズマ質量分析装置において、前記サンプリングコーン及びスキマーコーンのイオン導入孔部分とコーン裏面の孔の周囲の部分の少なくとも表面を測定対象元素を含まない物質で覆うようにしたことを特徴とする誘導結合プラズマ質量分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/10
, H01J 49/26
, G01N 27/62
