特許

J-GLOBAL ID：200903033038158016

液処理方法及び液処理装置

発明者： 北原 重徳
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-266216
公開番号（公開出願番号）：特開2003-077878
出願日： 2001年09月03日
公開日（公表日）： 2003年03月14日
要約：

【要約】【課題】 予備タンクに付設するヒータや温度センサ及び温度コントローラ等の温度制御機器類を不要にし、消費エネルギーの省力化を図れるようにすることにある。【解決手段】 処理槽35内に貯留される処理設定温度に設定された処理液によってウエハWに処理を施す液処理において、処理槽35内に処理液を循環供給する循環系40と、処理槽35内に供給される新規の処理液を貯留する予備タンク50とを具備し、循環系40に、この循環系40を流れる処理液を処理設定温度に設定するヒータ43を設け、予備タンク50内に、循環系40から分岐された分岐路70と接続する液溜り室80を設けて、分岐路70内を流れる処理設定温度に設定された処理液と予備タンク50内の新規処理液とを熱交換させて予備タンク50内の新規処理液を保温する。

請求項（抜粋）：

処理槽内に貯留される所定温度に設定された処理液によって被処理体に処理を施す液処理方法であって、上記処理槽内に上記処理液を循環供給する循環系を流れる処理液を所定温度に設定すると共に、循環系から分岐された分岐路を流れる所定温度に設定された処理液を、上記処理槽内に供給される新規処理液と熱交換させて、新規処理液を保温することを特徴とする液処理方法。

IPC (4件)：

H01L 21/304 642 ,  H01L 21/304 648 ,  H01L 21/304 ,  B08B 3/10

FI (4件)：

H01L 21/304 642 A ,  H01L 21/304 648 F ,  H01L 21/304 648 G ,  B08B 3/10 Z

Fターム (9件)：

3B201AA02 ,  3B201AA03 ,  3B201BB04 ,  3B201BB05 ,  3B201BB82 ,  3B201BB92 ,  3B201BB93 ,  3B201CC01 ,  3B201CD22