光リソグラフィー用光学部材及び光学部材の評価方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-134723
公開番号（公開出願番号）：特開平8-005505
出願日： 1994年06月16日
公開日（公表日）： 1996年01月12日
要約：

【要約】【目的】光リソグラフィー技術に使用される光学部材の屈折率の均質性の評価において、既存の技術とは異なる概念を導入し、詳細な評価を行うことにより、微細で鮮明な露光・転写パターン(例えば線幅0.3μm 以下)実現できる光リソグラフィー用光学部材を提供する。【構成】光学部材の屈折率の均質性を評価する方法において、まず光学部材の屈折率分布を測定し、次に測定された屈折率分布をパワー成分補正前またはパワー成分補正後に光軸方向の回転対称成分と非回転対称成分に分離し、回転対称成分をさらに2次及び4次成分補正する。

請求項（抜粋）：

光学部材の屈折率の均質性を評価する方法において、まず光学部材全体の波面収差を測定し、次に測定された波面収差を光軸方向の回転対称成分と非回転対称成分に分離することを特徴とする光学部材の評価方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

屈折率分布測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-302911 出願人：オリンパス光学工業株式会社
特開平3-225259
特開平2-008727

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