特許
J-GLOBAL ID：200903033041699559
単結晶製品板の結晶評価法及びその装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-280899
公開番号（公開出願番号）：特開平6-109669
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月22日
要約：
【要約】【目的】 擬コッセル法を用いて、単結晶製品板の結晶状態を迅速且つ高い精度で評価することができる単結晶製品板の結晶評価法及びその装置を提供する。【構成】 本発明装置は、開口部2を有する容器1と、開口部2に設けたX-Yステージ3と、X-Yステージ3へ単結晶板8を移送するオートチェンジャー装置7と、開口部2の中心とその中心軸18が一致する細管X線管球9と、細管X線管球9に取り付けた発散スリット11と、中心軸18と直交するイメージングプレート15と、イメージングプレート15を中心軸18周りに連続回転させる回転ステージ14と、イメージングプレート15の露光面を読み取る読取装置17と、中心軸18との直交軸に沿って読取装置17を平行移動させるXステージ19と、各装置の制御等を行う演算装置21と、演算装置21の解析結果を表示する表示装置22と、イメージングプレート15を初期化する消去ランプ23と、を備えている。
請求項（抜粋）：
オートチェンジャー装置によって単結晶板が移送され、且つ容器の開口部に設けられているX-Yステージのガイドに対して、上記単結晶板のオリエンテイションフラット部を含む縁部を接触させることによって、上記開口部が塞がれ、その内部が暗黒化し、上記容器内にある細管X線管球と一体化した発散スリットからの発散X線ビームを上記単結晶板の任意場所に照射し、該単結晶板からの擬コッセル線をイメージングプレート上に露光し、上記発散X線ビームの照射を停止した後、上記イメージングプレートの上記細管X線管球の中心軸周りの回転と、読取装置の上記細管X線管球の中心軸に直交する方向への移動とを組み合せ、且つ上記イメージングプレートの回転速度や上記読取装置の移動速度を制御することによって、該読取装置が上記イメージングプレート上で等速度の渦巻走査をして、上記擬コッセル線を定量的に検出し、その検出結果を演算装置が記憶し、上記単結晶板の結晶状態をその単結晶板のオリエンテイションフラットや板面法を基準に評価し、その評価結果を表示装置が表示した後、上記容器内に設けられた消去ランプが点灯して上記イメージングプレートを初期化し、上記オートチェンジャー装置が評価済の上記単結晶板を上記X-Yステージから除去するようにしたことを特徴とする単結晶製品板の結晶評価法。
IPC (2件)：
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