特許
J-GLOBAL ID:200903033042657370
ガス圧力検知装置及びこれを有する異常検出装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-185842
公開番号(公開出願番号):特開2002-005764
出願日: 2000年06月21日
公開日(公表日): 2002年01月09日
要約:
【要約】【課題】 雷等のサージ電圧によっても、圧力センサ素子部が破壊されないようにすること。【解決手段】 受圧膜の歪みを電気信号に変換し出力する圧力センサ素子1と、圧力センサ素子1に接合され応力を緩和する台座2と、圧力センサ素子1、台座2を電気絶縁性を有する接着剤3を介して支持する圧力導入管4と、圧力センサ素子1とリードフレーム5を介して接続される回路基板6とを備えている。これによって高信頼性のガス圧力検知装置を実現することができる。
請求項(抜粋):
受圧膜の歪みを電気信号に変換し出力する圧力センサ素子と、前記圧力センサ素子に接合され応力を緩和する台座と、前記圧力センサ素子及び前記台座を電気絶縁性を有する接着剤を介して支持する圧力導入管と、前記圧力センサ素子とリードフレームを介して接続される回路基板とを備えたガス圧力検知装置。
IPC (2件):
G01L 9/04 101
, H01L 29/84
FI (2件):
G01L 9/04 101
, H01L 29/84 B
Fターム (13件):
2F055AA39
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD05
, 2F055EE14
, 2F055FF38
, 2F055GG31
, 2F055GG43
, 4M112AA01
, 4M112BA01
, 4M112CA13
, 4M112CA15
, 4M112GA01
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