特許
J-GLOBAL ID：200903033043563450
微粒子製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-266333
公開番号（公開出願番号）：特開平5-103970
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】本発明は、凝縮核となる微粒子が冷却用配管に付着することを防止するとともに、生成される複合微粒子の粒径分布をくずさないことを主要な目的とする。【構成】発生蒸気を得るための蒸気発生装置(11)と、前記発生蒸気中に冷却ガスを供給する冷却ガス配管(19)と、前記蒸気中に凝縮核となる微粒子を供給する手段とを具備することを特徴とする微粒子製造装置。
請求項（抜粋）：
大気以上の圧力の発生蒸気を得るための蒸気発生装置と、前記発生蒸気中に冷却ガスを供給する手段と、前記発生蒸気中に凝縮核となる微粒子を供給する手段とを具備することを特徴とする微粒子製造装置。
IPC (2件)：
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