特許

J-GLOBAL ID：200903033060997161

サージアブソーバおよびその製造方法

発明者： 小野 泰一 ,  蛸島 武広 ,  柿原 良亘 ,  中村 功 ,  中村 祗温
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (1件)： 野▲崎▼ 照夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-120598
公開番号（公開出願番号）：特開平8-293377
出願日： 1995年04月21日
公開日（公表日）： 1996年11月05日
要約：

【要約】【目的】 サージアブソーバにおいて、抵抗体層を隔てるギャップを高精度に形成し、応答速度や放電開始電圧を安定させる。【構成】 平板チップ状の基体11の表面に高抵抗材料の抵抗体層12a,12bが蒸着またはスパッタにて形成され、これをエッチングにて除去することによりギャップ13が形成される。ギャップ13はその間隔を5μmまたは1μm以下の微細寸法にでき、放電が開始されるまでの応答時間を短縮できる。またギャップ13の間隔が高精度に設定されるため、放電開始電圧もばらつきの少ない安定したものとなる。抵抗体層12a,12bを高融点材料かつ耐スパッタ性の高い材料で形成することにより、放電による抵抗体層の損傷を防止でき、また抵抗体層12a、12bを非晶質カーボンを主体とした材料で形成することにより、ガラス封止体17内に封入された不活性ガス等によるプラズマに対する耐性の高いものとなる。

請求項（抜粋）：

基体の表面に形成された抵抗体層と、抵抗体層の両側に配置された主電極とを有し、前記抵抗体層に1つ以上のギャップが形成されているサージアブソーバであって、前記抵抗体層が蒸着またはスパッタ等により成膜可能な高抵抗材料により形成されていることを特徴とするサージアブソーバ。

IPC (3件)：

H01T 4/12 ,  H01T 1/16 ,  H01T 21/00

FI (3件)：

H01T 4/12 F ,  H01T 1/16 F ,  H01T 21/00