縦横移動旋回テーブル機構

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三觜晃司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-240366
公開番号（公開出願番号）：特開平8-099243
出願日： 1994年10月04日
公開日（公表日）： 1996年04月16日
要約：

【要約】【目的】テーブルの縦横移動と旋回を可能とする機構を、各機能を有するステージの積み重ね方式でなく実現することにより、機構の簡素化を図る。【構成】案内部材1と移動部材2とから成る一対の直動案内軸受の夫々の移動部材を回動自在に結合して支持ユニットUを構成し、少なくとも3つの支持ユニットを基台5とテーブル6間に配置し、夫々の支持ユニットの移動部材を直交させた状態において、案内部材を夫々基台とテーブルに固定し、この際、少なくとも2つの支持ユニットの基台側案内部材を対向させて平行に配置すると共に、他の少なくとも1つの支持ユニットの基台側案内部材を上記基台側案内部材と直角の方向に配置し、平行に配置した少なくとも2つの基台側案内部材の移動部材と基台間、及びこれらと直角に配置した少なくとも1つの基台側案内部材の移動部材と基台間に直線送り機構を構成したものである。

請求項（抜粋）：

案内部材と移動部材とから成る一対の直動案内軸受の夫々の移動部材を回動自在に結合して支持ユニットを構成し、少なくとも3つの支持ユニットを基台とテーブル間に配置し、夫々の支持ユニットの移動部材を直交させた状態において、案内部材を夫々基台とテーブルに固定し、この際、少なくとも2つの支持ユニットの基台側案内部材を対向させて平行に配置すると共に、他の少なくとも1つの支持ユニットの基台側案内部材を上記基台側案内部材と直角の方向に配置し、平行に配置した少なくとも2つの基台側案内部材の移動部材と基台間、及びこれらと直角に配置した少なくとも1つの基台側案内部材の移動部材と基台間に直線送り機構を構成したことを特徴とする縦横移動旋回テーブル機構

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