輪帯照明装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：内原晋
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-253284
公開番号（公開出願番号）：特開平5-094936
出願日： 1991年10月01日
公開日（公表日）： 1993年04月16日
要約：

【要約】【目的】輪帯照明により結像レンズのコントラストを向上させる。【構成】光源部と光源部より発せられた光束のビーム径を変換するビームコンプレッサと輪帯状の二次光源を形成するホモジナイザーと輪帯状二次光源でマスクを照明する集光レンズより構成される照明装置。ホモジナイザーは、ファイバーなどで構成され、円形入力に対し輪帯状の出力になっており、出力端面が二次光源となっている。輪帯状の二次光源の像を結像レンズの入射瞳に作ることにより結像レンズのコントラストを向上させることができる。

請求項（抜粋）：

光束を供給する光源と、該光束の強度分布を均一にするための光学素子と、被照射物体を照明する光学素子とを有する照明光学装置において、前記光束の強度分布を均一にするための光学素子が光ファイバーで構成され、出力端面付近が輪帯状の2次光源となっていることを特徴とする輪帯照明装置。

IPC (2件)：

H01L 21/027 , G03F 7/20 521

FI (2件)：

H01L 21/30 311 S , H01L 21/30 311 L

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-091662
特開昭62-002618

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