特許

J-GLOBAL ID：200903033078680556

感光性樹脂組成物

発明者： 前田 祐利 ,  渡辺 英司 ,  国宗 弘一 ,  加藤 康一
出願人/特許権者： チッソ株式会社
代理人 (1件)： 藤本 博光 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-337862
公開番号（公開出願番号）：特開平6-308731
出願日： 1993年12月28日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】 (修正有)【構成】テトラカルボン酸二無水物、ジアミン、および一般式(1)H2N-R1-SiR23-kXk ......(1){ここでR1は-(CH2)5-等であり、(sは1〜4の整数。)、R2は炭素数1〜6のアルキル基等、Xは加水分解性のアルコキシ基を表わし、1≦k≦3である。}で表されるアミノシリコン化合物より得られるシリコン含有ポリイミド前駆体(a)、(a)をさらに一価の飽和アルコールでエステル化したシリコン含有ポリアミド酸エステル(b)、および(a)をさらに一価の飽和アルコールで部分エステル化して得られる部分エステル化シリコン含有ポリアミド酸エステル(c)からなる群から選ばれた少くとも一種のポリイミド前駆体、および光照射により酸を発生する化合物を含有することからなる感光性樹脂組成物。【効果】ネガ型の鮮明なレリーフ・パターンを形成することができ、焼成による硬化時の膜減りが少なく、基板との密着性に優れる。

請求項（抜粋）：

1モルのテトラカルボン酸二無水物に対し2モル以下の一価の飽和アルコールを付加した誘導体またはテトラカルボン酸二無水物Aモル、ジアミンBモル、および一般式(1)【化1】で表されるアミノシリコン化合物Cモルを、下記式(2)および(3)【数1】【数2】の関係が成立させて得られるシリコン含有ポリイミド前駆体(a)、該前駆体(a)をさらに一価の飽和アルコールでエステル化したシリコン含有ポリアミド酸エステル(b)、および前駆体(a)をさらに一価の飽和アルコールで部分エステル化して得られる部分エステル化シリコン含有ポリアミド酸エステル(c)からなる群から選ばれた少くとも一種のポリイミド前駆体、および光照射により酸を発生する化合物を含有することからなる感光性樹脂組成物。

IPC (7件)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  G03F 7/075 511 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312