ビーム分割装置のビーム列補正装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：三浦邦夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-084229
公開番号（公開出願番号）：特開平7-333553
出願日： 1995年04月10日
公開日（公表日）： 1995年12月22日
要約：

【要約】【目的】互いに略平行に並ぶように分割した複数のビームのスポット位置を容易に補正することができるビーム列補正装置を提供すること。【構成】 1ビームを、光束分割素子を介して、互いに略平行に並ぶ複数のビームに分割するビーム分割装置において、上記光束分割素子によって複数に分割されたビームの少なくとも一つの光路上に、独立に光路を偏向させる偏向手段を配置したビーム列補正装置。

請求項（抜粋）：

1ビームを、光束分割素子を介して、互いに略平行に並ぶ複数のビームに分割するビーム分割装置において、上記光束分割素子によって複数に分割されたビームの少なくとも一つの光路上に、独立に光路を偏向させる偏向手段を配置したことを特徴とするビーム分割装置のビーム列補正装置。

IPC (5件)：

G02B 27/10 , G02B 5/04 , G02B 5/18 , G02B 26/10 , G02B 26/10 102

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開平2-111914
特開昭55-100526
特公昭48-025671

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