特許
J-GLOBAL ID：200903033084512177

回転塗布装置用塗液供給装置

発明者：
藤田 裕一

藤田 裕一 について


出願人/特許権者：
凸版印刷株式会社

凸版印刷株式会社 について


公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323261
公開番号（公開出願番号）：特開平11-162808
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1999年06月18日
要約：
【要約】【課題】液晶表示用カラーフィルター等の製造においてフォトレジスト等を塗布する回転塗布法によって、基板上に得られる塗膜厚の均一性に優れ、且つ塗液消費量を必要最低限とする回転塗布装置用塗液供給装置を提供することにある。【解決手段】緩やかに回転する基板10上に、塗液をカーテン状に吐出するスロット型押し出し塗液供給装置1であって、該塗液2の吐出量が前記基板の中心部から周辺部に向かって連続的に多くなるようにするスロット型塗液供給ヘッド50を備え、そのヘッド50のスリットの幅を、中心部から左右端に向かって連続的に大きくし、また、ヘッド50の内部に設けられたマニホールドからヘッドの先端50eまでのスリットの距離を、中心より左右端に向かって小さくしてなる回転塗布装置用塗液供給装置1としたものである。
請求項（抜粋）：
緩やかに回転する基板上に、塗液をある一定幅でビートを形成しながらもしくはカーテン状に吐出するスロット型押し出し塗液供給装置であって、該塗液の吐出量を前記基板の中心部から周辺部に向かって連続的に多くなるようにするスロット型塗液供給ヘッドを備えてなることを特徴とする回転塗布装置用塗液供給装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 501
FI (4件)：
H01L 21/30 564 C ,  B05C 11/08 ,  G03F 7/16 501 ,  H01L 21/30 564 Z
引用特許：
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (13件)
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