特許

J-GLOBAL ID：200903033090433386

静圧気体軸受装置

発明者： 岩本 憲市 ,  永野 佳孝
出願人/特許権者： エヌティエヌ株式会社
代理人 (1件)： 野田 雅士 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-142954
公開番号（公開出願番号）：特開2000-337375
出願日： 1999年05月24日
公開日（公表日）： 2000年12月05日
要約：

【要約】【課題】 スライドテーブル等の可動体の真直度等の姿勢を高精度に保つことができ、かつ製造が簡単なものとする。【解決手段】 各給気ノズル3に供給する給気経路を個別とすることにより、各給気ノズル3を個別に制御可能とする。この個別制御により、スライドテーブル等となる可動体2の姿勢制御を行う。この姿勢制御を行うにつき、可動体2の各位置の姿勢データ23を予め測定して記録しておく。次に、可動体2と供給圧の関係式等による姿勢・供給圧関係情報25から、姿勢を補正するための可動体位置毎の各給気ノズル3の供給圧の関係を求める。この結果に基づき、供給圧を制御する。

請求項（抜粋）：

固定体と可動体との間に静圧軸受隙間を形成し、この隙間に圧力気体を供給して、前記可動体を前記固定体に対して静圧支持する静圧気体軸受装置において、可動体の姿勢補正情報に基づき、可動体位置に応じて、前記静圧軸受隙間の各部へ供給する圧力気体の供給圧を個別に制御する手段を設けたことを特徴とする静圧気体軸受装置。

IPC (2件)：

F16C 32/06 ,  B23Q 1/38

FI (3件)：

F16C 32/06 A ,  F16C 32/06 C ,  B23Q 1/26 E

Fターム (20件)：

3C048AA07 ,  3C048BB11 ,  3C048BB20 ,  3C048BC01 ,  3C048CC07 ,  3C048CC20 ,  3C048DD01 ,  3C048DD11 ,  3C048EE07 ,  3J102AA02 ,  3J102BA05 ,  3J102CA11 ,  3J102CA16 ,  3J102EA02 ,  3J102EA06 ,  3J102EA07 ,  3J102EA12 ,  3J102EB03 ,  3J102EB07 ,  3J102GA01