特許

J-GLOBAL ID：200903033093818467

ネガ型電着フォトレジスト組成物

発明者： 竹田 ユカリ ,  竹添 浩司
出願人/特許権者： 関西ペイント株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-125502
公開番号（公開出願番号）：特開平6-313133
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月08日
要約：

【要約】【目的】 活性エネルギー線退色性色素を含有し、未現像レジスト膜の露光部と未露光部の識別可能なネガ型電着フォトレジスト組成物を提供する。【構成】 (A)エチレン性不飽和基及びイオン性基を含有し、平均分子量300以上である水溶性又は水分散性の重合性不飽和樹脂、(B)光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール又は芳香族環を配位子とするチタン錯体化合物、及び、(C)モノアゾ系色素を必須成分とするネガ型電着フォトレジスト組成物。

請求項（抜粋）：

(A)エチレン性不飽和基及びイオン性基を含有し、平均分子量300以上である水溶性又は水分散性の重合性不飽和樹脂、(B)光重合開始剤としてベンジルジメチルケタール又は芳香族環を配位子とするチタン錯体化合物、及び、(C)モノアゾ系色素を必須成分とするネガ型電着フォトレジスト組成物。

IPC (6件)：

C09D 5/44 PRG ,  C09D 5/44 PRN ,  G03F 7/027 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/038 ,  H05K 3/00