特許

J-GLOBAL ID：200903033094817359

赤外線センサ

発明者： 細川 徳一 ,  水越 正人
出願人/特許権者： 日本電装株式会社
代理人 (1件)： 藤谷 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-354582
公開番号（公開出願番号）：特開平7-198474
出願日： 1993年12月27日
公開日（公表日）： 1995年08月01日
要約：

【要約】【目的】僅かな赤外線でも温度上昇が容易な断熱性の良い、感度の良い赤外線センサを提供すること。【構成】図1(a) は、基板12に設けられた矩形空洞部11の上端四隅からのびる梁2が各々複数方向に分岐して、矩形受光部のフローティングメンブレン100 に支点を有する場合の赤外線センサで、この梁形状は、単純に受光部に接続する場合より梁の実効長を長くすることができ、熱流経路としても長くなるので、熱の伝導が抑制される。また梁が二方向に分岐しているため、梁に発生する応力を打ち消しあって緩和することができる。

請求項（抜粋）：

薄膜に形成され、感熱素子を含んだ赤外線の受光部と、該受光部を断熱的に宙吊りで支える梁と、該梁を支える基板とを備えて成る赤外線センサにおいて、前記基板から延びる前記梁が、複数方向に分岐して、前記受光部と連結していることを特徴とする赤外線センサ。

IPC (3件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02 ,  G01J 5/12

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 特開平4-158583
  
• データ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-185786   出願人：株式会社ニコン

審査官引用 (2件)

• 特開平4-158583
  
• データ処理方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-185786   出願人：株式会社ニコン