特許

J-GLOBAL ID：200903033106195502

磁気抵抗効果型ヘッド

発明者： 神尾 浩 ,  芦田 栄次 ,  光岡 勝也
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-245592
公開番号（公開出願番号）：特開平9-091625
出願日： 1995年09月25日
公開日（公表日）： 1997年04月04日
要約：

【要約】【課題】 製造プロセスを複雑化させることなく、磁気抵抗効果センサにおける構造的および熱的なノイズの発生を抑制する。【解決手段】 基板11、ベース絶縁層12、下部シールド層13、第1絶縁層14、磁気抵抗効果機能部15、ハードバイアス層16、電極層17、第2絶縁層18、および上部シールド層19から構成される磁気抵抗効果型ヘッド10において、上部シールド層19および下部シールド層13のうち、少なくとも下部シールド層13を、アモルファス磁性層21および結晶質金属層22からなる多層構造にして、アモルファス磁性層21による下部シールド層13(第1絶縁層14)の平坦度向上による磁気抵抗効果機能部15におけるバルクハンゼンノイズ等の構造的なノイズの抑止と、高熱伝率の結晶質金属層22による、磁気抵抗効果機能部15からの放熱特性の向上による熱的なノイズの低減を実現する。

請求項（抜粋）：

下部シールド層と、前記下部シールド層上に形成された電気絶縁材料からなる第1の絶縁層と、前記第1の絶縁層上に形成された磁気抵抗効果機能部と、前記磁気抵抗効果機能部上に形成された電気絶縁材料からなる第2の絶縁層と、前記第2の絶縁層上に形成された上部シールド層とを含む磁気抵抗効果型ヘッドであって、前記下部シールド層および上部シールド層のうち少なくとも前記下部シールド層が比抵抗の小さな膜と平均面粗さの小さな膜からなる2層以上の積層構造を呈することを特徴とする磁気抵抗効果型ヘッド。