特許

J-GLOBAL ID：200903033106325988

ガス容器及び容器弁の評価方法

発明者： 木村 昌夫 ,  樽谷 浩平
出願人/特許権者： レール・リキード・ソシエテ・アノニム・プール・レテュード・エ・レクスプロワタシオン・デ・プロセデ・ジョルジュ・クロード
代理人 (1件)： 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-354941
公開番号（公開出願番号）：特開2000-180342
出願日： 1998年12月14日
公開日（公表日）： 2000年06月30日
要約：

【要約】【課題】清浄度の評価をするのに十分な有意差が認められるだけの数の微粒子数を得ることができるガス容器及び容器弁の評価方法を提供する。【解決手段】1/4インチの直管部内径を有する容器弁14の付いたガス容器12内に、500L/minの流量で窒素ガスを充填する。この際、窒素ガスをガス源26から、減圧弁32、蒸発器34及びフィルタ38を介して容器弁14に供給する。蒸発器34により窒素ガスを加熱して、断熱膨張によりガス中に生じる液滴を蒸発させると共に、フィルタ38によりガス中の微粒子を捕集する。充填の1秒後に、ガス容器12内から100L/minの流量でガスを排出する。排出ガスの一部をサンプルガスとして検出器62に供給し、これに含まれる微粒子の数をカウントとし、検出値に基づいてガス容器12及び容器弁14の清浄度を評価する。

請求項（抜粋）：

1/8インチ〜1/2インチの直管部内径を有する容器弁の付いたガス容器内に、前記容器弁を通して100L/min〜10000L/minの流量で加圧ガスを充填する充填工程と、前記充填工程において、前記加圧ガスをガス源から、減圧弁、蒸発器及びフィルタを介して前記容器弁に供給することと、前記蒸発器により前記加圧ガスを加熱して、前記減圧弁を通過する際の断熱膨張により前記加圧ガス中に生じる液滴を蒸発させると共に、前記フィルタにより前記加圧ガス中の微粒子を捕集することと、前記充填工程後、0.01分〜100分以内に、前記容器弁を通して前記ガス容器内から10L/min〜1000L/minの流量で前記加圧ガスを含む内部ガスを排出する排出工程と、前記排出工程中、前記容器弁を通して排出される前記内部ガスの少なくとも一部をサンプルガスとして検出器に供給し、前記検出器により前記サンプルガス中に含まれる微粒子の数をカウントとする検出工程と、前記検出工程で得られた前記微粒子の数の検出値に基づいて前記ガス容器及び前記容器弁の清浄度を評価する評価工程と、を具備することを特徴とするガス容器及び容器弁の評価方法。

IPC (2件)：

G01N 15/00 ,  F17C 13/02 301

FI (2件)：

G01N 15/00 Z ,  F17C 13/02 301 Z

Fターム (1件)：

3E072AA10