走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-239354
公開番号（公開出願番号）：特開平10-090283
出願日： 1996年09月10日
公開日（公表日）： 1998年04月10日
要約：

【要約】【課題】画像上の歪みを防止し、試料段差の測定誤差を抑え、走査範囲が大きい場合においてもZ方向における大きな測定誤差を避け、走査範囲を犠牲せずに且つスキャナを長くすることもなくZ方向の高い剛性を保つこと。【解決手段】この走査型プローブ顕微鏡は、試料に対して走査部材を相対的に走査すべく3次元方向に駆動自在の圧電体スキャナと、上記圧電体スキャナの主走査及び副走査方向の印加電圧に基づいて、補正電圧テーブルを用いて、上記圧電体スキャナの円弧走査による上記主走査及び副走査方向に対して垂直な方向の円弧変位量を算出する上記円弧変位量算出手段と、上記円弧変位量算出手段により算出された円弧変位量を補正電圧に変換する変換手段と、上記変換手段により変換された補正電圧を上記圧電体スキャナへの印加電圧に加算する加算手段とを具備することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

試料に対して走査部材を相対的に走査すべく3次元方向に駆動自在の圧電体スキャナと、上記圧電体スキャナの自由端の平面において、該スキャナの中心に配設したセンサと、当該中心を中心角として直角となるように配設した2つのセンサとを有し、上記圧電体スキャナの主走査方向及び副走査方向に対して垂直な方向の変位量を検出する変位検出手段と、上記変位検出手段により検出された変位量に基づいて、上記圧電体スキャナの円弧走査による上記主走査及び副走査方向に対して垂直な方向の円弧変位量を算出する円弧変位量算出手段と、上記円弧変位量算出手段により算出された円弧変位量を補正電圧に変換する変換手段と、上記変換手段により変換された補正電圧に基づいて上記圧電体スキャナへの印加電圧を演算する演算手段と、を具備することを特徴とする走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 7/34 , G01B 21/30

FI (4件)：

G01N 37/00 A , G01N 37/00 F , G01B 7/34 Z , G01B 21/30 Z

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