特許
J-GLOBAL ID:200903033112178466
ダイヤモンドの合成方法及び合成ダイヤモンド並びにダイヤモンド合成用基板
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
内田 明 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-037164
公開番号(公開出願番号):特開平7-242492
出願日: 1994年03月08日
公開日(公表日): 1995年09月19日
要約:
【要約】【目的】 ダイヤモンド合成方法、合成ダイヤモンドおよびダイヤモンド合成用基板を提供する。【構成】 基板上に気相からダイヤモンドを析出する方法において、基板として脱焼結助材処理したダイヤモンド焼結体に金属を被覆したものを用い、合成後に該金属を溶解除去して合成したダイヤモンドと基板ダイヤモンド焼結体を分離する。ダイヤモンド焼結体は再利用できる。【効果】 反り等の発生少なくダイヤモンドを気相合成できて、しかも基板との分離が容易であるので、反りの少ない高品質なダイヤモンド単体を合成でき、ダイヤモンド焼結体は基板として再利用可能であるからコスト上も有利である。
請求項(抜粋):
基板上に気相からダイヤモンドを合成する方法において、上記基板として脱焼結助材処理を施したダイヤモンド焼結体上に金属からなる中間層を形成したものを用い、ダイヤモンドの合成終了後に上記中間層を除去することにより合成したダイヤモンド単体をダイヤモンド焼結体から分離することを特徴とするダイヤモンドの合成方法。
IPC (3件):
C30B 29/04
, C04B 41/90
, C04B 41/91
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