特許

J-GLOBAL ID：200903033112613391

製造装置監視方法

発明者： 松本 茂
出願人/特許権者： 松下電器産業株式会社
代理人 (1件)： 前田 弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-255644
公開番号（公開出願番号）：特開2002-073143
出願日： 2000年08月25日
公開日（公表日）： 2002年03月12日
要約：

【要約】【課題】 製造装置の稼動停止が製品の製造状況に及ぼす停止影響を正確に評価できるようにする。【解決手段】 製造装置が稼動停止後に再稼動した時点以降の特定の時点に製造装置において処理待ち状態にあった製品数から、製造装置が稼動停止した時点以前の特定の時点に製造装置において処理待ち状態にあった製品数を減じた値に基づき、第1の影響度を算出すると共に、製造装置が稼動停止後に再稼動した時点以降の所定の期間に製造装置により処理された製品が製造装置において処理待ち状態にあった時間から、製造装置が稼動停止した時点以前の所定の期間に製造装置により処理された製品が製造装置において処理待ち状態にあった時間を減じた値に基づき、第2の影響度を算出する。第1の影響度及び第2の影響度に基づき停止影響を評価する。

請求項（抜粋）：

製品の製造に用いられる製造装置の稼動状況を監視することにより、前記製造装置が稼動停止したときに該稼動停止が製品の製造状況に及ぼす影響を停止影響として評価する製造装置監視方法であって、前記製造装置が稼動停止した時点以前の特定の時点に前記製造装置において処理待ち状態にあった製品数である第1の処理待ち製品数と、前記製造装置が稼動停止後に再稼動した時点以降の特定の時点に前記製造装置において処理待ち状態にあった製品数である第2の処理待ち製品数との差に基づき前記停止影響を評価することを特徴とする製造装置監視方法。

IPC (3件)：

G05B 19/418 ,  G06F 17/60 106 ,  H01L 21/02

FI (3件)：

G05B 19/418 Z ,  G06F 17/60 106 ,  H01L 21/02 Z

Fターム (5件)：

5B049BB07 ,  5B049CC00 ,  5B049EE01 ,  5B049EE56 ,  5B049EE59

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-221202
  
• 鋼帯の連続焼鈍装置およびその張力制御装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-088670   出願人：新日本製鐵株式会社, 日鐵プラント設計株式会社
• 特開平3-221202