特許
J-GLOBAL ID:200903033115305752

テープキャリアの欠陥検出装置および欠陥検出方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 半田 昌男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-024839
公開番号(公開出願番号):特開平11-224892
出願日: 1998年02月05日
公開日(公表日): 1999年08月17日
要約:
【要約】【課題】 テープの伸縮や、リードの公差にかかわらず、正確かつ確実に、テープキャリアのリードに生じた欠陥を検出する欠陥検出装置を提供する。【解決手段】 第1のCCDカメラ16により撮影され、ディジタル化された画像信号が画像計測部20に与えられ、画像計測部20により、二値化された画像データが生成される。画像データには、膨張処理、および、その収縮の回数が膨張処理における膨張の回数よりも大きく設定された収縮処理が、順次が施され、処理が施された後の画像データと二値化された画像データとが比較され、リードの欠けが検出される。また、画像データには、収縮処理、および、その膨張の回数が収縮処理における収縮の回数よりも大きく設定された膨張処理が施され、処理後の画像データと、二値化された画像データとが比較されて、リードの突起が検出される。
請求項(抜粋):
撮像手段によりテープキャリアに形成されたリードを含む画像を得て、得られた画像に基づき、リードに生じた欠陥を検出するテープキャリアの欠陥検出装置であって、前記得られた画像を二値化して、対応する画像データを生成する二値化手段と、前記二値化された画像データに、膨張処理を施す膨張手段と、前記膨張処理が施された画像データに、前記膨張処理における膨張の回数よりも多い回数の収縮処理を施す収縮手段と、前記収縮処理が施された画像データと、前記二値化された画像データとを比較して、二値化された画像データに対応するリードに生じた欠けを検出する欠け検出手段と、を備えることを特徴とするテープキャリアの欠陥検出装置。
IPC (5件):
H01L 21/60 311 ,  G01B 11/24 ,  G01N 21/89 ,  G06T 1/00 ,  G06T 7/00
FI (5件):
H01L 21/60 311 W ,  G01B 11/24 M ,  G01N 21/89 A ,  G06F 15/62 380 ,  G06F 15/70 330 C

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