特許
J-GLOBAL ID:200903033135125327
磁気ヘッド用サスペンションの製造方法
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-237038
公開番号(公開出願番号):特開2000-067421
出願日: 1998年08月24日
公開日(公表日): 2000年03月03日
要約:
【要約】【課題】 高精度の位置合わせ回数が少なく、低コストで生産性に優れ、さらに、高周波特性に優れる磁気ヘッド用サスペンションを提供する。【解決手段】 マウントに直接導体パターンを形成せず、一度導電性基板上に導体パターンを形成し、剛性調整したサスペンション上に形成した絶縁樹脂パターン上に接着することで、位置合わせ工程回数が少なく、良好な高周波特性を有する配線一体型磁気ヘッド用サスペンションを安定に低コストで製造出来る。
請求項(抜粋):
導電性基板の表面に液状感光性樹脂組成物を塗布し、露光・現像により所望の樹脂パターン硬化物を形成し、樹脂組成物を除去した部分に電解メッキにより導体パターンを形成した後、前記樹脂パターン硬化物を除去することにより、導体パターン部を形成する工程と、金属板上に前記導体パターン部に対応した絶縁樹脂ベース材料をパターニングする工程と、該導体パターン部と該絶縁樹脂ベース材料を位置合わせした後、接着する積層工程と、前記導電性基板を剥離した後、前記導体パターン部に保護層を形成し、前記金属板をエッチングにより所望の形状に形成する工程、からなる磁気ヘッド用サスペンションの製造方法。
Fターム (3件):
5D042NA01
, 5D042TA02
, 5D042TA07
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