特許

J-GLOBAL ID：200903033139268491

レーザ波長変換方法およびレーザ波長変換装置ならびに露光方法および露光装置ならびに半導体装置の製造方法

発明者： 武久 究
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074241
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268367
出願日： 1997年03月26日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：

【要約】【課題】 真空紫外域のレーザ光の高い波長変換効率を長期間維持する。【解決手段】 レーザ波長変換装置100の非線形光学結晶1aはXステージ12の可動部12a上に搭載されており、レーザ光4aの入射光路に交差する方向に往復動される。これにより、レーザ光4aを非線形光学結晶1aに入射させてレーザ光4a’を得る波長変換を行う間、非線形光学結晶1aは光路に交差するX方向に往復移動する。したがって非線形光学結晶1aにおいてレーザ光4aが通過する部分が経時的に移動するため、非線形光学結晶1aにおけるセルフヒーティングが緩和されると共に、非線形光学結晶1aの内部において劣化が生じる可能性のある部分が広く分散することから、非線形光学結晶1aが劣化しにくくなり、高い波長変換効率を長期間維持できる。

請求項（抜粋）：

レーザ光を非線形光学結晶を通過させることによって波長変換を行うレーザ波長変換方法であって、前記レーザ光を前記非線形光学結晶中に入射させて前記波長変換を行う間、前記非線形光学結晶を前記レーザ光の進行方向と交差する方向に相対的に変位させることを特徴とするレーザ波長変換方法。

IPC (3件)：

G02F 1/37 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G02F 1/37 ,  G03F 7/20 505 ,  H01L 21/30 515 D ,  H01L 21/30 516 A