特許
J-GLOBAL ID：200903033150210977
動圧気体軸受およびその動圧気体軸受の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
有我 軍一郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-292908
公開番号（公開出願番号）：特開平7-145812
出願日： 1993年11月24日
公開日（公表日）： 1995年06月06日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、動圧気体軸受に関し、動圧気体膜特有の圧縮性効果を利用して半径方向の軸受剛性を高めることができ、高速安定でしかも不釣り合い振動の小さい高速・高精度な動圧気体軸受を提供することを目的としてる。【構成】 固定軸3の輪郭線に、周方向に複数周期の規則的な凹部A1〜A3および凸部B1〜B3を形成し、凹部A1〜A3および凸部B1〜B3の始点から終点までの一周期を調和波形から構成している。
請求項（抜粋）：
ハウジングと、該ハウジングに支持された軸部材と、該軸部材と同軸にあって該軸部材の周囲に配置された円筒部材と、を備え、該円筒部材が高速回転することにより前記軸部材と前記円筒部材との間に動圧空気圧力が発生し、該動圧空気圧力により前記円筒部材が前記軸部材から浮上支持される動圧気体軸受において、前記軸部材の放射方向断面における輪郭線および前記円筒部材の放射方向断面における内側の輪郭線のうちの何れか一方の輪郭線に、周方向に複数周期の規則的な凹凸が形成され、前記凹凸の始点から終点までの一周期が調和波形からなることを特徴とする動圧気体軸受。
IPC (3件)：
F16C 17/02
, B21C 23/00
, B23P 15/00
