特許

J-GLOBAL ID：200903033154848070

除振装置及び露光装置

発明者： 大崎 達哉
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-283187
公開番号（公開出願番号）：特開平10-112433
出願日： 1996年10月04日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】 効率の良いアクチュエータの制御動作を行なうとともに、アクチュエータの不要な発熱を防止する。【解決手段】目標値出力部44により移動体の動作モードに応じて露光本体部40の制御モードが設定される。そして、制御装置11ではこの設定された制御モードに応じ、変位センサ10Z1 〜10Z3 、10Y1 、10Y2 、10X及び振動センサ5Z1 〜5Z3 、5Y1 、5Y2 、5Xの出力に基づいて、アクチュエータ7A〜7D、32A〜32Cを制御することにより、露光本体部40の振動制御及び位置制御を行なう。このため、移動体の動作モードに応じた効率の良いアクチュエータの制御動作が可能となるとともに、必要以上のアクチュエータの駆動を回避することができ、これによりアクチュエータの不要な発熱を防止することも可能である。

請求項（抜粋）：

少なくとも3個の除振パッドを介してほぼ水平に保持された除振台と;前記除振台上で移動する移動体と;前記除振台を駆動する複数のアクチュエータと;前記除振台の変位を検出する変位センサと;前記除振台の振動を検出する振動センサと;前記移動体の動作モードに応じて、前記除振台の制御モードを設定する設定手段と;前記制御モードに応じ、前記変位センサ及び振動センサの出力に基づいて、前記複数のアクチュエータを制御する第1制御系とを有する除振装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  F16F 15/02 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

H01L 21/30 503 F ,  F16F 15/02 A ,  G03F 9/00 H