特許

J-GLOBAL ID：200903033160218224

強化ウエハ研磨パッドの製造方法および同パッドを実装した装置

発明者： シュ・カングシャン ,  チャオ・エンジーン・ワイ. ,  ダイ・フェン
出願人/特許権者： ラム リサーチ コーポレーション
代理人 (1件)： 特許業務法人明成国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-552714
公開番号（公開出願番号）：特表2004-524676
出願日： 2001年12月07日
公開日（公表日）： 2004年08月12日
要約：

【課題】【解決手段】本発明の多くの実施形態の1つとして、化学機械研磨で用いる継ぎ目なし研磨装置が提供されている。継ぎ目なし研磨装置は、研磨パッド(156)を備えており、研磨パッド(156)は、ベルト様の形状で継ぎ目を持たない。継ぎ目なし研磨装置は、さらに、基礎ベルト(157)を備えており、基礎ベルト(157)は、補強層(182)とクッション層(184)とを備える。さらに、クッション層(184)は、研磨ベルトパッド(156)と基礎ベルト(157)との間の中間層である。【選択図】図2B

請求項（抜粋）：

化学機械研磨において用いる継ぎ目なし研磨装置であって、 ベルト様の形状であると共に、継ぎ目を持たないよう構成された研磨パッド(156)と、 補強層(182)とクッション層(184)とを備える基礎ベルト(157)と、を備え、 前記クッション層は、前記研磨ベルトパッドと前記基礎ベルトとの間の中間層である、継ぎ目なし研磨装置。

IPC (2件)：

H01L21/304 ,  B24B37/00

FI (2件)：

H01L21/304 622F ,  B24B37/00 C

Fターム (6件)：

3C058AA05 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058CA01 ,  3C058CB05 ,  3C058DA12

引用特許：

審査官引用 (1件)

• ポリマー支持体層で補強された表面仕上げ用不織材料およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-062939   出願人：ミネソタマイニングアンドマニュファクチャリングカンパニー