液化ガス内でのキャビテーションによる洗浄

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-197402
公開番号（公開出願番号）：特開平6-254520
出願日： 1993年08月09日
公開日（公表日）： 1994年09月13日
要約：

【要約】【目的】キャビテーションを利用して基体を洗浄するための単純で安価な、また無害で再生可能な洗浄媒体を使用する洗浄システム及び装置を得る。【構成】超音波ノズル等のキャビテーション発生器付の洗浄室内の洗浄媒体の温度及び圧力の両方を夫々の臨界値より少し下に制御してキャビテーションを発生させて洗浄する。またその前または後に媒体を夫々の臨界値よりも高い温度と圧力の稠密相のガスにして固化した可溶性の汚染物を取除く。使用されるガスは、CO2 が最適であるが、亜酸化窒素、六弗化硫黄、及びキセノンも使用できる。

請求項（抜粋）：

(a)キャビテーション生成手段(16,36,52)を具備する洗浄室(12)内に好ましくない素材を含む基体を配置することと;(b)約50 ゚Cより低い温度で約100気圧(103.3Kg/cm2)か或いはそれよりも低い圧力を選択されたガスに加えることによって形成される液化ガスを前記洗浄室内に導き入れることと、前記ガスの臨界温度よりも低い温度で前記液化ガスを前記望ましくない素材を含む前記基体と接触させることと;(c)前記洗浄室内の前記液化ガスを、前記望ましくない素材を前記基体から取除くのに十分な時間の間前記キャビテーション生成手段に晒すこと:とのステップを具備する前記選択された基体(28)から望ましくない前記素材を取除くための工程。

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