特許

J-GLOBAL ID：200903033164166288

デブリ除去装置、光源及び露光装置

発明者： マイケル ソガード
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-003939
公開番号（公開出願番号）：特開2002-313598
出願日： 2002年01月10日
公開日（公表日）： 2002年10月25日
要約：

【要約】【課題】デブリの抑制が困難である。【解決手段】少なくとも一つの羽根と、デブリを含む空間を当該羽根を移動させることによって一掃させる移動機構とを有することを特徴とするデブリ除去装置。

請求項（抜粋）：

少なくとも一つの羽根と、デブリを含む空間を当該羽根を移動させることによって一掃させる移動機構とを有することを特徴とするデブリ除去装置。

IPC (4件)：

H05G 2/00 ,  G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

G03F 7/20 503 ,  G21K 5/02 X ,  H05G 1/00 K ,  H01L 21/30 531 S

Fターム (8件)：

2H097CA15 ,  2H097GB00 ,  2H097LA10 ,  4C092AA06 ,  4C092AB19 ,  4C092AC09 ,  4C092BD20 ,  5F046GC03