特許
J-GLOBAL ID：200903033166265445
X線用シュヴァルツシルト型光学系およびこれを用いる元素マッピング方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 暁秀 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-131505
公開番号（公開出願番号）：特開平8-327795
出願日： 1995年05月30日
公開日（公表日）： 1996年12月13日
要約：
【要約】【目的】 作製し易く、所望の元素マッピングにも有効に適用できるX線用シュヴァルツシルト型光学系およびこれを用いる元素マッピング方法を提供する。【構成】 X線の反射率を向上するために、重元素と軽元素とを積層してなる多層膜をそれぞれ設けた多層膜凹面鏡および多層膜凸面鏡を有するX線用シュヴァルツシルト型光学系14において、軽元素の吸収端の波長をλ、多層膜凹面鏡および多層膜凸面鏡へのX線の入射角の最大値をθ<SB>MAX </SB>としたとき、多層膜の1周期の厚さdが、d<λ/(2cos θ<SB>MAX </SB>)を満たし、かつ、軽元素の吸収端前後の波長領域で、それぞれ少なくとも一つの透過率のピークを有するよう構成する。また、かかるX線用シュヴァルツシルト型光学系14の多層膜を構成する軽元素にマッピングすべき所望の元素を含ませ、この元素の吸収端前後の波長のX線での2つの2次元画像の差に基づいて試料中の所望の元素をマッピングする。
請求項（抜粋）：
X線の反射率を向上するために、重元素と軽元素とを積層してなる多層膜をそれぞれ設けた多層膜凹面鏡および多層膜凸面鏡を有するX線用シュヴァルツシルト型光学系において、前記軽元素の吸収端の波長をλ、前記多層膜凹面鏡および多層膜凸面鏡へのX線の入射角の最大値をθ<SB>MAX </SB>としたとき、前記多層膜の1周期の厚さdが、d<λ/(2 cosθ<SB>MAX </SB>)を満たし、かつ、前記軽元素の吸収端前後の波長領域で、それぞれ少なくとも一つの透過率のピークを有するよう構成したことを特徴とするX線用シュヴァルツシルト型光学系。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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