特許

J-GLOBAL ID：200903033166746001

表面形状測定装置

発明者： 藤原 憲明
出願人/特許権者： 松下電工株式会社
代理人 (1件)： 倉田 政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-088940
公開番号（公開出願番号）：特開平6-300537
出願日： 1993年04月15日
公開日（公表日）： 1994年10月28日
要約：

【要約】【目的】2値の明暗格子板を明部と暗部が交番する方向に単振動させることにより、あたかも濃淡サインカーブのように使用可能とし、縞走査法の導入を実現した非接触式の表面形状測定装置を簡単に且つ安価に提供する。【構成】明暗格子板14を振動台12により単振動させて、光源8から明暗格子板14を透過した平行光線を斜め方向から被測定物17に照射し、その表面からの反射光を単振動の周期よりも蓄積時間の長いCCDカメラ3により撮像し、駆動テーブル5により単振動の振動中心を振動方向に沿って移動させ、単振動の振動中心が異なる複数枚の画像データから被測定物17の表面形状をコンピュータ1により演算する。

請求項（抜粋）：

光の透過率が高い直線的な明部と光の透過率が低い直線的な暗部とが交互に配置された2値の明暗格子板と、この明暗格子板を直線的な明部と暗部が交番する方向に単振動させる単振動手段と、前記明暗格子板に平行光線を照射する平行光線照射手段と、前記明暗格子板を透過した光を斜め方向から照射される被測定物と、被測定物の表面からの反射光を単振動の周期よりも蓄積時間の長い蓄積型の撮像手段により撮像する画像入力手段と、前記単振動の振動中心を振動方向に沿って移動させる位相シフト手段と、単振動の振動中心が異なる複数枚の画像データから被測定物の表面形状を演算する演算手段とを備えることを特徴とする表面形状測定装置。