露光装置

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (6件)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 神田藤博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-143587
公開番号（公開出願番号）：特開2005-326550
出願日： 2004年05月13日
公開日（公表日）： 2005年11月24日
要約：

【課題】露光時に帯状基板が自重によって下方に撓むことによる弊害を解消し、帯状基板とフォトマスクとを精度良く位置合わせして均一な品質の製品を提供する。【解決手段】露光装置は、帯状基板1をその長手方向に沿って間欠的に送りながら所定長さ領域ごとに露光する。感光材が付着された露光面を有するフレキシブルな帯状基板1は、駆動装置19によって、繰り出し用リール14と巻き取り用リール15との間を移動する。繰り出し用リール14と巻き取り用リール15との間には、帯状基板1が垂直状態になるところの垂直経路が形成されている。垂直経路には露光部が設けられる。露光部は、フォトマスク21,22を有する。フォトマスク21,22に描かれたパターンは、光源からの光によって帯状基板1の露光面に転写される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

帯状基板をその長手方向に沿って間欠的に送りながら、該帯状基板を所定長さ領域ごとに露光するための露光装置において、感光材が付着された露光面を少なくとも片面に有するフレキシブルな帯状基板が円筒状に巻かれた繰り出し用リールと、前記帯状基板を円筒状に巻き取るための巻き取り用リールにして、前記繰り出し用リールから所定の距離をおいて設けられた巻き取り用リールと、前記帯状基板を前記繰り出し用リールから前記巻き取り用リールまで間欠的に送るための駆動装置と、前記繰り出し用リールと前記巻き取り用リールとの間に設けられた露光部にして、前記露光面に近接、または接触可能な少なくとも1つのフォトマスクを有する露光部と、前記フォトマスクに描かれたパターンを前記帯状基板の前記露光面に転写するための光源とを備え、前記繰り出し用リールと前記巻き取り用リールとの間に、前記帯状基板が垂直状態になるところの垂直経路が形成されており、前記露光部が、前記垂直経路に設けられる、露光装置。

IPC (1件)：

G03F7/20

FI (1件)：

G03F7/20 511

Fターム (3件)：

2H097AB07 , 2H097DB07 , 2H097LA01

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平3-214536
特開平3-214536
フレキシブルプリント基板の連続製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-083122 出願人：株式会社シンク・ラボラトリー

全件表示

前のページに戻る