特許
J-GLOBAL ID：200903033178817893
異物検査機能を備えた露光装置及びその装置における異物検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
飯塚 義仁
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-384999
公開番号（公開出願番号）：特開2003-186201
出願日： 2001年12月18日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】 マスクのパターン面と露光対象基板の露光面とを接近させる前に、パターン面や露光面について異物有無の検査を行う。【解決手段】 マスクホルダ1に保持されたマスクMのパターン面Maと、露光チャック2に保持された露光対象基板Pの露光面Paとを接近させて露光を行う露光装置において、マスクのパターン面と露光対象基板の露光面とを接近させる前に、前記マスクと前記露光対象基板とを相対的に移動するようにマスクホルダと露光チャックの少なくともいずれか一方を駆動する駆動手段Dと、前記マスクホルダと前記露光チャックの少なくともいずれか一方を駆動して前記マスクと前記露光対象基板とを相対的に移動する場合に、前記パターン面の状態と前記露光面の状態をそれぞれ光学的に検出する検出手段6,7とを具える。制御手段では、前記パターン面に応じた前記検出手段の出力に基づき該パターン面の異物有無を判定すると共に、前記露光面に応じた前記検出手段の出力に基づき該露光面の異物有無を判定する処理を行う。
請求項（抜粋）：
マスクホルダに保持されたマスクのパターン面と、露光チャックに保持された露光対象基板の露光面とを接近させて露光を行う露光装置において、マスクのパターン面と露光対象基板の露光面とを接近させる前に、前記マスクと前記露光対象基板とを相対的に移動するようにマスクホルダと露光チャックの少なくともいずれか一方を駆動する駆動手段と、前記マスクホルダと前記露光チャックの少なくともいずれか一方を駆動して前記マスクと前記露光対象基板とを相対的に移動する場合に、前記パターン面の状態と前記露光面の状態をそれぞれ光学的に検出する検出手段と、前記パターン面に応じた前記検出手段の出力に基づき該パターン面の異物有無を判定すると共に、前記露光面に応じた前記検出手段の出力に基づき該露光面の異物有無を判定する処理を行う制御手段とを具えた異物検査機能を備えた露光装置。
IPC (2件)：
G03F 7/20 501
, H01L 21/027
G03F 7/20 501
, H01L 21/30 509
2H097AB03
, 2H097AB07
, 2H097BA04
, 2H097BA10
, 2H097GB02
, 2H097LA12
, 5F046AA18
, 5F046BA02
