レチクル洗浄方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡田敬
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-222068
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068791
出願日： 1995年08月30日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】レチクルに付着した異物の洗浄効率を向上させる。【解決手段】レチクル両面に接するように位置するガラス面ブラシ2とクロム面ブラシ3を摺動させるかレチクル1を摺動させるかして、当該レチクル面の洗浄を行った後に、θ回転テーブルを介してレチクル1の向きを変更した後に、前述したようにガラス面ブラシ2とクロム面ブラシ3あるいはレチクル1を摺動させて当該レチクル面の洗浄を行うものである。

請求項（抜粋）：

レチクル位置決め部に固定したレチクルの両面に接するように位置した一対の回転ブラシを回転させた状態で、該レチクル位置決め部を介して該レチクルを摺動させて当該レチクル面の洗浄を行った後に、前記レチクル位置決め部を保持したθ回転テーブルを介して前記レチクルを所定角度回転させて該レチクルの向きを変更した後に、前記レチクル位置決め部を介して前記レチクルを摺動させてレチクル面の洗浄を行うことを特徴とするレチクル洗浄方法。

IPC (4件)：

G03F 1/08 , B08B 1/04 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341

FI (4件)：

G03F 1/08 X , B08B 1/04 , H01L 21/304 341 M , H01L 21/30 503 G

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