特許

J-GLOBAL ID：200903033188105514

圧力検出装置

発明者： 橋口 健二 ,  小林 正樹 ,  大村 雄厚
出願人/特許権者： 株式会社コガネイ
代理人 (1件)： 筒井 大和 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-306214
公開番号（公開出願番号）：特開2001-124647
出願日： 1999年10月28日
公開日（公表日）： 2001年05月11日
要約：

【要約】【課題】 圧力検出装置の軽量化と小型化とを達成する。【解決手段】 シリコンダイヤフラム24は受圧凹部25とセンサ部26とを有し、シリコンダイヤフラム24は、受圧凹部25に対向する保持部21と流体案内路が接続される管部22とを有する圧力導入パイプ23により基板15に固定される。基板15の歪みがシリコンダイヤフラム24に伝達されることは、保持部21で遮断されることになる。シリコンダイヤフラム24と保持部21とをガラス台座を介して接続するようにしても良い。

請求項（抜粋）：

シリコンチップに受圧凹部を形成し、前記シリコンチップにピエゾ抵抗体を有するセンサ部が形成されたシリコンダイヤフラムと、前記受圧凹部に対向する保持部と流体案内路が接続される管部とを有し、前記流体案内路からの流体を前記受圧凹部に案内する樹脂製の圧力導入パイプと、前記シリコンダイヤフラムを前記圧力導入パイプを介して支持する基板とを備えたセンサ組立体を有し、前記基板の歪みの前記シリコンダイヤフラムへの伝達を前記保持部で遮断するようにしたことを特徴とする圧力検出装置。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/14

FI (2件)：

G01L 9/04 101 ,  G01L 19/14

Fターム (8件)：

2F055AA39 ,  2F055BB10 ,  2F055CC02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE13 ,  2F055FF43 ,  2F055GG12 ,  2F055HH05