特許
J-GLOBAL ID：200903033189397810
残留電荷量測定方法、及び移動状態判断方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石島 茂男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-066132
公開番号（公開出願番号）：特開平11-040661
出願日： 1998年03月02日
公開日（公表日）： 1999年02月12日
要約：
【要約】【課題】静電チャックより基板を離脱させる際の残留吸着力を低減させる技術、及び、離脱の際の状態を判断できる技術をを提供する。【解決手段】本発明では、静電チャックプレート3上からウエハ1を離脱させる際に流れる電流値を検出し、静電チャックの残留電荷を算出している。残留電荷量はウエハ1の搬送状態に影響を与えるので、残留電荷量を求めることで、ウエハー1の搬送状態を知ることができる。更に、残留電荷量に応じ静電吸着とは逆極性の逆バイアスを印加するようにすれば、残留電荷を消滅させることもできる。
請求項（抜粋）：
誘電体と、該誘電体中に配置された電極を有する静電チャック上に被吸着物を載置し、前記電極に吸着電圧を印加して前記被吸着物を静電吸着し、前記吸着電圧の印加を解除した後、前記被吸着物を前記静電チャック上から離脱させる場合に、前記離脱の前に、前記静電チャックと前記被吸着物に蓄積された電荷によって放電電流を流した後、前記離脱させる際に流れる電流値を測定し、この電流の値に基づいて上記静電チャックに残留した電荷量とその極性を算出することを特徴とする静電チャックの残留電荷量測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 R
, H02N 13/00 D
