特許
J-GLOBAL ID：200903033190097286
周期性パターンのムラ定量化方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-018546
公開番号（公開出願番号）：特開平6-229736
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年08月19日
要約：
【要約】【目的】 人間が評価することに起因する不安定さを排除し、安定した試料のムラ検査、品質管理を行うことを可能にする。【構成】 撮影装置で試料の透過光像を撮像して得た画像データに対し、微分処理、平滑化処理等のフィルタリング処理を施すことによって、作成したムラ強調画像の画素毎に画素レベルの平均値を境にした面での積分計算を行い、積分結果を積分面積で除算することよって規格化した数値を試料のムラの度合を示す数値とする。その結果、透過性を有する基板上に形成された周期性パターンを持ついろいろの工業製品のムラを定量的に捉えることが可能となり、品質管理、検査を行う上で信頼性、精度の向上等を達成することができる。
請求項（抜粋）：
透過性を有する基板上に形成された単位パターンの繰り返し配列からなる周期性パターンの光学的性質の不均一性を定量化する方法であって、撮像装置を用いて撮像した周期性パターンの画像データをフィルタリング処理して得られた画像に対して画像データの平均値を境に面積分し、積分結果を積分面積で除算して規格化した値を試料の不均一度とすることを特徴とする周期性パターンのムラ定量化方法。
IPC (2件)：
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