特許

J-GLOBAL ID：200903033193034536

集積多層ミクロ流体デバイスとそれを製作する方法

発明者： ジェレミー・ダブリュー・バードン ,  ロン-フォン・フアン ,  デイビッド・ウィルコックス ,  ニコラス・ジェイ・ナクレリオ ,  シンシア・アン・ゴーサッチ・ブリスコウ ,  ピョートル・グロジンスキー ,  フイナン・ユ ,  ロバート・マレロ ,  ショーン・ロス・ギャラガー ,  ユック-トン・チャン ,  バーバラ・マクニール・フォーリー ,  シュンフ・ダイ
出願人/特許権者： モトローラ・インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 青山 葆 (外3名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-575618
公開番号（公開出願番号）：特表2002-527254
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2002年08月27日
要約：

【要約】実質的な単一体構造を有する多層ミクロ流体デバイスが複数のグリーンシート層と共に焼結することによって形成される。実質的な単一体構造は流体を受け入れる入口ポート、流体を放出する出口ポートおよび入口ポートと出口ポート間の相互接続を有する。実質的な単一体構造はまた電気伝導径路、ヒーター、流体センサー、流体運動トランスジューサおよび光学的透過性部分のような流体との有用な相互作用を可能とする色々な構成要素を含む。構成要素は厚膜またはグリーンシート技術を使用して製造されることが好ましく、および実質的な単一体構造と一体化されるようにグリーンシート層と共に焼成され、それに焼結されることが好ましい。グリーンシート層を一緒に結着するために接着剤を使用することにより多層ミクロ流体デバイスは高圧を加えることなく製造されてもよい。グリーンシート層中に存在する結着剤よりも高い温度で分解する重合体を有する接着剤を選択することにより、焼成プロセス間の界面の安定性を増進し、および界面領域内部の空隙なし焼結を増進する。

請求項（抜粋）：

一緒に焼結される複数のグリーンシート層から形成される実質的な単一体構造を有し、前記グリーンシート層はセラミック粒子、ガラス粒子およびガラス-セラミック粒子から成るグループから選択される粒子を含み、 前記実質的な単一体構造はその中に画定される流体通路を有し、前記流体通路は流体を受け入れる入口ポート、流体を放出する出口ポートおよび前記入口ポートと前記出口ポート間の相互接続を有し、および 前記実質的な単一体構造はその中に画定される電気伝導径路を有し、前記電気伝導径路は厚膜ペーストを前記グリーンシート層の少なくとも一つに焼結することによって形成される厚膜部分を含む、ことを特徴とする多層ミクロ流体デバイス。

IPC (6件)：

B28B 11/00 ,  B01J 19/24 ,  B01J 35/02 ,  C12M 1/00 ,  G01N 35/08 ,  G01N 37/00 101

FI (7件)：

B01J 19/24 A ,  B01J 19/24 Z ,  B01J 35/02 Z ,  C12M 1/00 A ,  G01N 35/08 C ,  G01N 37/00 101 ,  B28B 11/00 Z

Fターム (74件)：

2G058DA07 ,  2G058GA12 ,  4B029AA08 ,  4B029AA15 ,  4B029BB01 ,  4B029CC01 ,  4B029GA08 ,  4B029GB09 ,  4B029GB10 ,  4G055AA08 ,  4G055AC01 ,  4G055AC09 ,  4G055BA14 ,  4G069AA08 ,  4G069AA11 ,  4G069BA13A ,  4G069BA14A ,  4G069BB02A ,  4G069BC71A ,  4G069BC72A ,  4G069BC75A ,  4G069DA05 ,  4G069EA11 ,  4G069EB04 ,  4G069EC28 ,  4G069EE03 ,  4G069EE04 ,  4G069EE06 ,  4G069FA01 ,  4G069FB23 ,  4G069FB33 ,  4G075AA23 ,  4G075AA30 ,  4G075AA45 ,  4G075AA56 ,  4G075AA65 ,  4G075BA05 ,  4G075BB05 ,  4G075BB10 ,  4G075CA02 ,  4G075CA03 ,  4G075CA05 ,  4G075CA13 ,  4G075CA23 ,  4G075CA26 ,  4G075CA42 ,  4G075CA54 ,  4G075CA65 ,  4G075CA66 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EA02 ,  4G075EA07 ,  4G075EB32 ,  4G075EB46 ,  4G075EC21 ,  4G075EC23 ,  4G075EE07 ,  4G075EE12 ,  4G075EE23 ,  4G075EE31 ,  4G075EE36 ,  4G075FA01 ,  4G075FA12 ,  4G075FA14 ,  4G075FB01 ,  4G075FB02 ,  4G075FB04 ,  4G075FB06 ,  4G075FB12 ,  4G075FC04 ,  4G075FC06 ,  4G075FC11 ,  4G075FC15