特許

J-GLOBAL ID：200903033198292223

基板処理装置

発明者： 原 大介 ,  圷 則夫 ,  能戸 幸一
出願人/特許権者： 株式会社日立国際電気
代理人 (1件)： 和泉 良彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-075623
公開番号（公開出願番号）：特開2002-280435
出願日： 2001年03月16日
公開日（公表日）： 2002年09月27日
要約：

【要約】【課題】 エレベータのタイミングベルトが切断した場合にエレベータの昇降ベースが落下するのを防止する。【解決手段】 ガイド10にスライドベース13を昇降可能に取り付け、スライドベース13と一体にプレート15を設け、ガイド10にブラケット20を介してモータ19を固定し、モータ19の出力軸にタイミングベルト用の駆動プーリ18、ワイヤロープ用の駆動プーリ23を取り付け、ガイド10にサポート22を取り付け、サポート22にタイミングベルト用の従動プーリ21、ワイヤロープ用の従動プーリ24を回転可能に支持し、駆動プーリ18、従動プーリ21にタイミングベルト16を掛け廻し、タイミングベルト16の両端部をプレート15に固定し、駆動プーリ23、従動プーリ24にワイヤロープ17を掛け廻し、ワイヤロープ17の両端部をプレート15に固定する。

請求項（抜粋）：

基板または基板収納容器を垂直方向に移動させるエレベータを有する基板処理装置において、上記エレベータをモータとタイミングベルトとにより昇降ベースを垂直方向に移動させるように構成し、上記昇降ベースに上記タイミングベルトと一緒に動作するワイヤロープを取り付けたことを特徴とする基板処理装置。

IPC (5件)：

H01L 21/68 ,  B65G 1/00 541 ,  B65G 1/04 531 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511

FI (5件)：

H01L 21/68 A ,  B65G 1/00 541 ,  B65G 1/04 531 C ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/22 511 B

Fターム (17件)：

3F022CC02 ,  3F022EE05 ,  3F022FF01 ,  3F022JJ19 ,  3F022MM51 ,  5F031CA02 ,  5F031FA03 ,  5F031FA09 ,  5F031GA35 ,  5F031GA49 ,  5F031GA51 ,  5F031LA07 ,  5F031MA28 ,  5F031PA20 ,  5F031PA30 ,  5F045AA03 ,  5F045EN05