特許
J-GLOBAL ID：200903033200023979
熱分解窒化ほう素容器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 亮一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-152016
公開番号（公開出願番号）：特開平6-122504
出願日： 1993年06月23日
公開日（公表日）： 1994年05月06日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 本発明は剥離強度が強く、熱伝導率が低くて温度分布コントロース性もよいことから、III-V族化合物半導体単結晶引上げ用大型のルツボまたは真空蒸着、分子線エピタキシー用のルツボなどに有用される熱分解窒化ほう素容器の提供を目的とするものである。【構成】 本発明の熱分解窒化ほう素容器は密度が1.90〜2.05g/cm3 であることを特徴とするものである。
請求項（抜粋）：
密度が1.90〜2.05g/cm3 であることを特徴とする熱分解窒化ほう素容器。
IPC (7件)：
C01B 21/064
, B65D 85/84
, C04B 35/58 103
, C23C 14/24
, C30B 23/08
, C30B 15/10
, H01L 21/203
