細孔分布測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-082071
公開番号（公開出願番号）：特開平5-180750
出願日： 1991年01月22日
公開日（公表日）： 1993年07月23日
要約：

【要約】【目的】測定時の吸着ガス注入の定量性の向上と分解能(測定点数)の向上、さらに測定精度の向上を目的とする。【構成】定量ガス注入器にガス入口弁とガス出口弁を設け、吸着ガスを一定圧力に調整する圧力調整器を前記ガス入口弁に設け、前記ガス出口弁にサンプルセルと圧力検出器と真空ポンプ入口弁を設け、前記真空ポンプ入口弁に真空ポンプを設け、前記各弁と定量ガス注入弁を制御する制御部と圧力信号を入力演算する演算部と演算及び制御結果を出力する出力部を具備することを特徴とする。

請求項（抜粋）：

定量ガス注入器(4)にガス入口弁(3)とガス出口弁(5)を設け、吸着ガスを一定圧力に調整する圧力調整器(2)を前記ガス入口弁(3)に設け、前記ガス出口弁(5)にサンプルセル(6)と圧力検出器(7)と真空ポンプ入口弁(8)を設け、前記真空ポンプ入口弁(8)に真空ポンプ(9)を設け、前記各弁(3)(5)(8)と定量ガス注入器(4)を制御する制御部(10)と圧力信号を入力演算する演算部(11)と演算及び制御結果を出力する出力部(12)を具備することを特徴とする細孔分布測定装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭61-271439
特開昭59-065241

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