特許
J-GLOBAL ID：200903033219706260
走査トンネル顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-265982
公開番号（公開出願番号）：特開平5-107019
出願日： 1991年10月15日
公開日（公表日）： 1993年04月27日
要約：
【要約】【目的】試料および探針の汚染を防止する。【構成】試料交換室5、試料処理室3および試料観察室2を有する走査トンネル顕微鏡において、試料交換室5と試料処理室3の間および試料処理室3と試料観察室2との間に設けれる開閉扉7、6と、試料観察室2に設けられる格納ホルダー11と、試料処理室3内に設けられる移動ホルダー22と、該移動ホルダー22を搬送する搬送装置15と、前記試料交換室5と移動ホルダー22との間で試料および探針の授受を行う搬送装置12と、前記格納ホルダー11と移動ホルダー22との間で試料および探針の授受を行う搬送装置13とを備える。
請求項（抜粋）：
試料交換室、試料処理室および試料観察室を有する走査トンネル顕微鏡において、試料交換室と試料処理室の間および試料処理室と試料観察室との間に設けれる開閉扉と、試料観察室に設けられる格納ホルダーと、試料処理室内に設けられる移動ホルダーと、該移動ホルダーを搬送する搬送装置と、前記試料交換室と移動ホルダーとの間で試料および探針の授受を行う搬送装置と、前記格納ホルダーと移動ホルダーとの間で試料および探針の授受を行う搬送装置とを備えることを特徴とする走査トンネル顕微鏡。
IPC (2件)：
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